Nama lain
Laser gas excimer
Kelas standar
Electron Grade, Kelas Industri, Medicine Grade
Aplikasi
Elektronik, berpendingin
Rentang flammatabilitas (dalam udara)
Tidak mudah terbakar
Bahaya
Tekanan tinggi dan kekurangan napas
Umur simpan
Penyimpanan yang tepat selama 2 tahun